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半導(dǎo)體廢水處理工藝

1.項(xiàng)目概述

本文以浙江某半導(dǎo)體電子產(chǎn)業(yè)廢水處理工程為例,系統(tǒng)介紹了整體處理工藝流程和設(shè)備參數(shù)的選擇。進(jìn)水水質(zhì)和排放標(biāo)準(zhǔn)見(jiàn)下圖。

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2.生產(chǎn)過(guò)程說(shuō)明

廢水分為三種:酸堿廢水、含氟廢水和研磨廢水。具體處理流程如下:

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2.1酸堿廢水處理工藝

酸堿廢水主要是含酸和含堿的廢水。根據(jù)濃度的不同,常用的工藝主要有pH中和法和濃縮法。根據(jù)本項(xiàng)目酸堿廢水的pH范圍和工程造價(jià),本工藝采用pH中和法。

主要過(guò)程如下:酸堿廢水進(jìn)入酸堿廢水調(diào)節(jié)池,曝氣混合均勻后,由水泵提升進(jìn)入pH中和池進(jìn)行三級(jí)酸堿加藥反應(yīng)。調(diào)節(jié)pH至中性,出水進(jìn)入排放池,達(dá)到排放標(biāo)準(zhǔn)。

2.2含氟廢水處理工藝

吸附法和化學(xué)加藥混凝法是處理含氟廢水的常用方法。本項(xiàng)目進(jìn)水氟離子濃度為300mg/L,采用混凝沉淀法。另配一套活性氧化鋁吸附裝置。如果不達(dá)標(biāo),經(jīng)氧化鋁吸附后排放。

主要工藝:含氟廢水進(jìn)入含氟調(diào)節(jié)池曝氣混合。然后用提升泵提升至含氟反應(yīng)罐。罐內(nèi)有一個(gè)pH計(jì),控制加藥泵的酸堿加入量,調(diào)節(jié)pH值到7 ~ 9,同時(shí)加入CaCl2反應(yīng)生成沉淀。然后依次流入混凝池和絮凝池,通過(guò)加藥泵分別投加PAC和PAM,進(jìn)一步混凝沉淀。

2.3研磨廢水處理工藝

研磨廢水的主要成分是硅粉等無(wú)機(jī)懸浮物,SS較高。因此,通常采用化學(xué)混凝沉淀法作為預(yù)處理。

主要工藝流程如下:研磨廢水進(jìn)入研磨廢水調(diào)節(jié)池,曝氣攪拌后,由水泵提升至反應(yīng)池,在池內(nèi)調(diào)節(jié)pH值,投加PAC進(jìn)行混凝沉淀,然后自流進(jìn)入絮凝池,池內(nèi)投加PAM,絮凝后進(jìn)入沉淀池。上清液再次進(jìn)入生化池。

3.主要結(jié)構(gòu)和設(shè)計(jì)參數(shù)

3.1酸堿廢水系統(tǒng)

3.1.1酸堿調(diào)節(jié)池

座位1,設(shè)計(jì)規(guī)模:2400m3/d,停留時(shí)間:3.3h,尺寸:5.3m×9.7m×6.0mH

主要設(shè)備:提升泵,2臺(tái)(1+1),Q=120m3/h,H=20m。

pH中和池

1、玻璃鋼材料,停留時(shí)間30分鐘,尺寸:4.9m×2.3m×5mH。

pH中和池

1個(gè)座位,玻璃鋼材料,停留時(shí)間15分鐘,尺寸:2.0m×2.3m×5mH。

pH中和池

31個(gè)座位,玻璃鋼材料,停留時(shí)間15分鐘,尺寸2.0m×2.3m×5mH。

3.2含氟廢水系統(tǒng)

3.2.1含氟調(diào)節(jié)罐

座位1,設(shè)計(jì)規(guī)模:720m3/d,停留時(shí)間:3.6h,尺寸:2.1m×9.7m×6.0mH

主要設(shè)備:2臺(tái)提升泵(1+1),Q=40m3/h,H=20m。

3.2.2含氟反應(yīng)罐

座1,玻璃鋼材質(zhì),停留時(shí)間:15min,尺寸:1.5m×1.5m×5mH調(diào)節(jié)進(jìn)水pH,同時(shí)加入CaCl2,與水中氟離子反應(yīng)。

主要設(shè)備:槳式攪拌機(jī)1臺(tái),轉(zhuǎn)速80轉(zhuǎn)/分。

3.2.3含氟混凝池

座1,玻璃鋼材料,停留時(shí)間15分鐘,尺寸:1.5m×1.5m×5mH,加入PAC進(jìn)行混凝。主要設(shè)備:槳式攪拌機(jī)1臺(tái),轉(zhuǎn)速80轉(zhuǎn)/分。

3.2.4含氟絮凝池

座1,玻璃鋼材質(zhì),停留時(shí)間:15min,尺寸:1.5m×1.5m×5mH加入PAM使水中大分子凝聚,加速沉淀。

主要設(shè)備:1臺(tái)框式攪拌機(jī),轉(zhuǎn)速為30轉(zhuǎn)/分。

3.2.5含氟吸附罐(活性氧化鋁)

大小:& # 248;2.8米×2.5米.如果氟離子超標(biāo),將廢水切換到吸附池進(jìn)行吸附處理。

3.3研磨廢水系統(tǒng)

研磨調(diào)節(jié)槽

座1,設(shè)計(jì)規(guī)模:2320m3/d,停留時(shí)間:3.3h,尺寸:5.6m×9.7m×6.0mH主要設(shè)備:提升泵,2臺(tái)(1+1),Q=110m3/h,H=20m。

3.3.2研磨反應(yīng)槽

座位1,玻璃鋼材質(zhì),停留時(shí)間18分鐘,尺寸:2.4m×2.8m×5mH。調(diào)節(jié)進(jìn)水pH,同時(shí)投加PAC進(jìn)行混凝沉淀。主要設(shè)備:槳式攪拌機(jī),數(shù)量為1臺(tái),轉(zhuǎn)速為80轉(zhuǎn)/分。

3.3.3研磨絮凝池

座位1,玻璃鋼材質(zhì),停留時(shí)間18分鐘,尺寸:2.4m×2.8m×5mH。加入PAM,混凝沉淀。主要設(shè)備:框式攪拌機(jī)1臺(tái),轉(zhuǎn)速40轉(zhuǎn)/分。

3.3.4研磨初沉池

座1,設(shè)計(jì)規(guī)模:3040m3/d,停留時(shí)間:2.3h,尺寸:13.5m×4.6m×5mH廢水進(jìn)入沉淀池沉淀,上清液進(jìn)入生化池。主要設(shè)備:污泥泵,2臺(tái)(1+1),2英寸。

3.4生化系統(tǒng)

水解池

A區(qū)/B2,停留時(shí)間:4.9h,尺寸:4.55m×8.8m×5.0mH,酸化大分子有機(jī)物,提高廢水的可生化性。

3.4.2接觸氧化池

A座/B2,停留時(shí)間:12小時(shí),尺寸:長(zhǎng)19.0米×寬4.55米×高6.5米。游泳池的通風(fēng)。

3.4.3二沉池

A區(qū)/B2,停留時(shí)間:6.7h,大小:16.8m×4.5m×5mH沉淀生化污泥。上清液進(jìn)入排放罐。主要設(shè)備:污泥泵,3臺(tái)(2+1),2英寸。將污泥送至污泥儲(chǔ)槽。

3.4.4排放池

座位1,停留時(shí)間:0.5h,尺寸:5.3m×6.3m×5mH收集排出的廢水,測(cè)量水中污染物指標(biāo),達(dá)標(biāo)排放。主要設(shè)備:排放回流泵,2臺(tái)(1+1),Q=230m3/h,H=20m。

3.5污泥系統(tǒng)

污泥儲(chǔ)槽

1個(gè)座位,尺寸:11.0米×4.6米×5小時(shí)。污泥被收集并送至壓濾機(jī)進(jìn)行干燥。主要設(shè)備:污泥壓濾機(jī)泵,2臺(tái)(1+1),2英寸。

3.5.2污泥脫水系統(tǒng)

干污泥量為750kg/d,污泥含水率為98%,經(jīng)板框壓濾后含水率達(dá)到70%。污泥上清液回流至調(diào)節(jié)池進(jìn)行再處理。

主要設(shè)備:板框隔膜壓濾機(jī),過(guò)濾面積120m2,過(guò)濾壓力0.8MPa,濾板材質(zhì):增強(qiáng)聚丙烯。

4.運(yùn)營(yíng)效果和成本

4.1運(yùn)行效果

2017年5月工程調(diào)試驗(yàn)收后,連續(xù)運(yùn)行期間工程水質(zhì)穩(wěn)定,各項(xiàng)指標(biāo)達(dá)到設(shè)計(jì)排放標(biāo)準(zhǔn)和驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)。

4.2運(yùn)營(yíng)費(fèi)用

連續(xù)運(yùn)行時(shí),電費(fèi)為0.83元/m3,藥劑費(fèi)為1.74元/m3。由于自動(dòng)化程度高,人工成本約為0.30元/m3,整體運(yùn)行成本約為2.87元/m3。

5.結(jié)論

5.1本項(xiàng)目水量大(設(shè)計(jì)水量達(dá)到5000m3/d),廢水種類(lèi)多,在半導(dǎo)體電子行業(yè)廢水中具有代表性。廢水分類(lèi)處理能有效提高處理效率,保證出水水質(zhì)。

5.2整個(gè)系統(tǒng)由PLC程序控制,自動(dòng)化程度高,節(jié)省人工費(fèi)用和運(yùn)行費(fèi)用2.87元/噸水。(來(lái)源:江蘇中電創(chuàng)新環(huán)境科技有限公司)


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